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Edwards真空泵的機械選擇
日期：2024-08-19 16:08
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摘要：
?、?a href="http://www.jczxmr.cn" class="keyword_inherit" name="keyword_inherit" target="_blank">Edwards真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應選擇無(wú)振動(dòng)的泵或真空泵真空泵者采取防振動(dòng)措施。
?、屏私獗怀闅怏w成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
?、荅dwards真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。
?、日_地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱(chēng)陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì )使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。
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